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高溫高真空CVD一體機

發布時間:2022-08-16  瀏覽次數:1684

設備簡介:

NBD-CVD系列高溫爐整體采用國際先進制造工藝,并且從美學藝術角度出發,根據人體安全的角度進行設計。

控制數學模型采用先進的PID自學習模糊控制,使控溫精度保持在±1℃。經過長期多次的各種試樣實驗驗證,幾乎可以適用于所有類型材料的焙燒。


  

 

 

 

 

 

 


技術參數: 

  設備設備采用15.6英寸大尺寸全觸屏智能人機交互系統,高真空分子泵機組,新一代無油渦旋真空泵作為前級泵,以及高精度氣體質量流量控制系統,可以實現樣品在高精度氣體控制、高溫(Tmax:1650℃)條件下的智能化操作。

產品型號

NBD-T1700-80T22G3Z

最高溫度

1700

額定溫度
1650℃

控溫精度

±1℃

觸摸屏尺寸

15.6英寸

額定功率 10KW

傳感器類型

B型

推薦升溫速率

≤10/min

爐管尺寸
?80*1200mm 
極限真空度

6×10-4Pa

爐體外形凈尺寸
長1690×高1410×深765mm

 無油旋式干式真空泵 前級泵,具有結構簡單,密封性能好,極限真空高等優點。在應用方面具有運行成本低、工作壽命長、可靠性高、噪音低等顯著特點,在無油清潔應用領域有著不可比擬的優勢。)


     控制系統     


1、燒結工藝曲線設置:動態顯示設置曲線,設備燒結可預存多條工藝曲線,每條工藝曲線可自由設置;
2、可預約燒結,實現無人值守燒結工藝曲線燒結;
3、實時顯示燒結功率電壓等信息并記錄燒結數據,并可導出實現無紙記錄;
4、具有實現遠程操控,實時觀測設備狀態;
5、溫度校正:主控溫度和試樣溫度的差值,燒結全程進行非線性修正。

氣體系統(可選購)

流量計類型

浮子流量計

質量流量計

管道示意圖

 

 

進氣接口數量

2、3、4(多路可選)

流量范圍

20-200/60-600l/min(多量程可選)

50/100/200sccm(多量程可選)

工作壓差范圍

0-0.15MPa

低真空系統(可選購)

真空泵型號

NBD-1.5C

NBD-3C

NBD-4C

抽氣速率

1L/s

3L/s

4L/s

進排氣口尺寸

Φ8mm寶塔接頭

Φ8mm寶塔接頭

KF16/25

極限壓力

1000Pa

100Pa

10Pa

工作溫度

5-40

電氣規格

AC220V

分子泵高真空系統

(可選購)

分子泵系統型號

NBD-103(A)

NBD-103(B)

NBD-103(C)

抽氣速率

110L/s

600L/s

700L/s

真空測量計

復合真空計

極限壓力

10^-3Pa

10^-4Pa

10^-5Pa

工作溫度

5-40

電氣規格

AC 220V

AC 220V

AC 380V

* 支持非標定做,更多型號,歡迎來電垂詢400-000-3746

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