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祝賀東莞市人民醫院定制PECVD順利交付使用

發布時間:2023-03-28  瀏覽次數:1937

2023年3月27日,我司為東莞市人民醫院(南方醫科大學附屬醫院)定制的智能PECVD系統順利交付使用。

PECVD(等離子體增強化學氣相沉積)可以生產出僅靠普通 CVD 技術無法產生的獨特化合物和薄膜,并生產出具有極高耐溶劑性和耐腐蝕性以及化學和熱穩定性的薄膜,廣泛用于半導體工業制造集成電路,在光伏、摩擦學、光學和生物醫學領域也有許多應用。

在生物醫學領域,通過生產純度極高的致密惰性涂層,PECVD 在醫療植入物研究方面也具重要應用作用。
東莞市人民醫院始建于1888年,是一家集醫療、教學、科研及預防保健為一體的大型綜合性三級甲等醫院。2021年3月,醫院入選廣東省高水平醫院重點建設醫院。為加大生物醫學研究力度,東莞市人民醫院轉化醫學研究中心通過公開競標和綜合評估,選定我司為其研究項目提供定制PECVD系統。
該PECVD系統由RF射頻系統、氣體質量流量控制系統、襯底控溫系統、真空系統組成,采用集中總線控制技術的諾巴迪智能人機交互觸控系統,確保實驗過程的便捷、直觀、高效。

通過我司售后技術人員的培訓交接,得到了現場驗收及操作人員的充分肯定,設備順利通過驗收。


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